ASML的EUV光刻机被美国卡死：中国企业一台都买不到

荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）来华参加第三届中国国际进口博览会期间，展示了DUV（深紫外）光刻机，该产品可生产7nm及以上制程芯片。按照ASML全球副总裁、中国区总裁沈波的说法，2020年第二季度及第三季度，ASML发往中国大陆的光刻机台数超过了全球总台数的20%，但这些光刻机中，不包含EUV （极紫外光源）设备。

ASML是全球最大半导体设备制造商。（荷兰ASML官网）

据中国媒体快科技11月10日的报道中提到，ASML在光刻机领域几乎是巨无霸的存在，而他们对于与中国企业合作也是非常欢迎，无奈一些关键细节上被美国卡死。

据悉，EUV光刻机是光刻机在发展过程中的第五代产品，由于采用了极紫外线，它的最小工业节点到了22nm至7nm，可以说是世界上最先进的光刻机设备。而这种设备，只有ASML能造出来。

2018年4月，中芯国际曾向ASML订购了一台EUV光刻机，价值1.2亿美元，预计2019年年初交货，但最终这项交易未能达成。因美国方面盯上了这笔交易，美方官员与荷兰官员进行了至少四次会晤，讨论可否直接封杀这笔交易。

沈波在进博会期间表示，该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度，对全球客户均一视同仁，在法律法规框架下，都将全力支持。

探究中国大陆未拿到一台EUV光刻机的原因。雷锋网11月9日的报道中提到，中芯国际向ASML订购EUV光刻机时，ASML回应称，向中国出售EUV光刻机并没有违反美国主导《瓦森纳协定》，而荷兰政府当时也的确向ASML发放了出口许可证。

但美国官员频繁与荷兰高层会面，2019年元旦前后，美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方讨论了这笔交易的 “安全风险”；随后在2019年6月，美国国务卿蓬佩奥（Mike Pompeo）访问荷兰，再次向荷兰政府施加压力，要求停止这笔交易。

2018年12月1日，ASML元件供应商Prodrive的一家工厂还发生重大火灾，ASML公开表示，2019年年初的出货预计将延迟。到了2019年6月30日，荷兰政府向ASML颁发的出口许可证到期。

报道认为，荷兰对于向中国大陆出售光刻机一直是非常积极的，ASML也已经向荷兰政府提交出口EUV光刻机的申请，而荷兰政府则在等待美国政府的态度。