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中国电科48所8英寸碳化硅外延设备再升级
09月05日 星期四
21:02
中国电科48所8英寸碳化硅外延设备再升级
9月5日讯,近日,中国电科48所自主研发的8英寸碳化硅外延设备关键技术再获突破。碳化硅外延炉是第三代半导体碳化硅器件制造的核心装备之一。此次“全新升级”的8英寸碳化硅外延设备,具备更快、更好、更稳定的特点,通过改进激光视觉定位、晶圆自纠偏等技术,设备自动化性能更加成熟,提升产品生产效率。设备还成功引入新的掺杂技术,进一步提升产品良率,持续降低生产成本。
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